Strikte Scan Vier-Sonden-Widerstandsmessgerät

1) Proben können 49 Punkte, 81 Punkte, 1 Punkt im Zentrum, 10 Punkte im Zentrum, 5 Punkte im Zentrum, 5 Punkte im Zentrum, 9 Punkte im Zentrum, Durchmesser und andere Tests durchgeführt werden; Statistische Analyse von Testdaten zur Erstellung von 2D- und 3D-Karten;

2) Abschirmungsprüfung, um den Einfluss des Lichts auf die Probentest vollständig zu beseitigen und die Genauigkeit der Messung zu gewährleisten;
3) Vakuum-Adsorption verhindert die Auswirkungen der Bewegung der Probe während des vollautomatischen Testprozesses auf die Prüfung;
4) Integriertes eingebettetes Design, Berührung des Computerbildschirms, Fingertipp kann die Operation beenden.

Der Viersonde-Widerstandstester ist nicht nur ein Sieg für Technik und Physik, sondern auch für Technik und Physik. Vier Sonden sind ein praktisches Werkzeug, das in vielen Branchen eingesetzt wird. Vier Sonden eignen sich für Halbleiter und Solarzellen (Monokristallines Silizium, Polykristallines Silizium, Nichtkristallines Silizium, Perovskit), Flüssigkristallplatten (ITO / AZO), Funktionsmaterialien (Thermoelektrische Materialien, Kohlenstoffnanoröhren, Graphen, Nanodrähte, Leitfasern, Verbundstoffe), Halbleiterprozessprüfung (Metallisierung / Ioneinspritzung / Diffusionsschicht), Nichtkristallinlegierungen usw., Formspeicherlegierungen, Halbleiterherstellung usw.

Das Viersonde-Messgerät ist ein allgemein verwendetes Messgerät zur Messung der Widerstandswerte von Halbleitermaterialien wie Silizium (Si), Germanium (Ge), Galliumarsenid (GaAs) und der Widerstandswerte von Dünnschichten für elektronische Geräte.

Der CHT-4500RH ist ein Scan-Widerstandstester mit vier Sonden, der speziell für die wissenschaftliche Forschung entwickelt wurde und eine schnelle, automatische Abtastung von Proben bis zu 200 mm (oder 8-Zoll-Wafer) ermöglicht, um Informationen über die Verteilung von Widerständen und Widerständen an verschiedenen Stellen der Probe zu erhalten. Der Sondenkopf basiert auf dem Herstellungsprozess des mechanischen Uhrwerks und führt die Wolframkarbidsonde mit Rubinlagern, um eine hohe mechanische Genauigkeit und eine lange Lebensdauer zu gewährleisten. Dynamische Testwiederholbarkeit (nahe der realen Szene) von bis zu 0,2% ist branchenführend. Der extrem breite Messbereich von 1 μΩ bis 1 MΩ deckt die meisten Anwendungsszenarien ab und kann in vielen Bereichen wie Photovoltaik, Halbleiter, Legierungen und Keramik eingesetzt werden.

Das vollautomatische Vier-Sonden-Testsystem CHT-4500RH ist ein umfassendes, vollautomatisches Mehrzweckmessgerät, das das Vier-Sonden-Messprinzip anwendet. Dieses Gerät wurde nach den nationalen Standards für die physikalische Prüfmethode von monokristallinem Silizium und unter Berücksichtigung der amerikanischen A.S.T.M-Norm entwickelt, um spezielle Geräte zur Prüfung der Widerstände von Halbleitermaterialien und des quadratischen Widerstands (Dünnschichtwiderstand) zu verwenden. Durch ein vollautomatisches Testsystem werden die Widerstandsraten und die Widerstandsverteilung der Wafer gemessen und eine Linienkarte des Äquivalents erstellt, um die Widerstandsraten oder die Verteilung der Widerstandsgröße der gesamten Wafer direkt zu beobachten.

Das automatisierte Viersonde-Testsystem CHT-4500RH führt die Vanderberg-Messmethode durch die Anwendung von Viersonde-Doppelkombinationsmesstechnik auf geradlinige Viersonde weiter. Durch die Kombination von Stromsonde und Spannungssonde werden zwei elektrische Messungen durchgeführt, deren endgültige Berechnungsergebnisse die nachteiligen Auswirkungen auf die Messergebnisse, die durch die Probengeometrie, den Grenzeffekt und Faktoren wie die Ungleichheit der Sonden und die mechanische Verschiebung verursacht werden, automatisch beseitigen. Daher können bei der Erfüllung der Grundbedingungen während des Tests Faktoren wie der Sondenstand, die Probengröße und die Position der Sonde auf der Probenoberfläche nicht berücksichtigt werden. Diese dynamische, automatische Korrektur der oben genannten Nachteile verringert ihre Auswirkungen auf die Testergebnisse erheblich und verbessert somit die Genauigkeit der Messergebnisse.

Das vollautomatische Vier-Sonden-Software-Testsystem des Typs CHT-4500RH verfügt über eine benutzerfreundliche Testoberfläche, mit der das Testprogramm den Benutzern hilft, verschiedene Testvorgänge einfach durchzuführen, die erfassten Testdaten mathematisch zu analysieren und die Testdaten anschließend in Excel-Tabellen, 2D-, 3D-Diagrammen usw. intuitiv aufzunehmen und anzuzeigen. Es ermöglicht den Benutzer verschiedene Datenanalysen, die den Benutzer ermöglichen, die erfassten Daten auf dem Computer zu speichern oder zu drucken, um sie später zu referenzieren und anzuzeigen.

Vollautomatisches Software-Testsystem mit vier Sonden